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泛林集团

5nm及更先进节点上FinFET的未来:使用工艺和电路仿真来预测下一代半导体的性能

winniewei /
虽然栅极间距(GP)和鳍片间距(FP)的微缩持续为FinFET平台带来更高的性能和更低的功耗,但在5nm及更先进节点上,兼顾寄生电容电阻的控制和实现更高的晶体管性能变得更具挑战。

泛林集团的选择性刻蚀设备组合正在推进芯片行业下一个重要的技术拐点

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使用3D架构来支持先进逻辑和存储器应用代表了半导体行业下一个重要的技术拐点。非易失性存储首先实现了这一技术拐点,泛林集团的刻蚀和沉积工具持续走在这一创新的前沿。

干货 | 高深宽比刻蚀和纳米级图形化推进存储器的路线图

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随着市场需求推动存储器技术向更高密度、更优性能、新材料、3D堆栈、高深宽比 (HAR) 刻蚀和极紫外 (EUV) 光刻发展,泛林集团正在探索未来三到五年生产可能面临的挑战,以经济的成本为晶圆厂提供解决方案。