ASML完成第100台EUV光刻机出货:2021年产能将大增
根据最新数据显示,ASML在12月中完成了第100台EUV光刻机的出货。更加利好的消息是,业内预估ASML今年(2021年)的EUV光刻机产能将达到45~50台的规模。
根据最新数据显示,ASML在12月中完成了第100台EUV光刻机的出货。更加利好的消息是,业内预估ASML今年(2021年)的EUV光刻机产能将达到45~50台的规模。
10月14日——荷兰光刻机制造商ASML今日发布2020年第三季度财报:第三季度净销售额金额为40亿欧元,净利润金额为11亿欧元,毛利率达到47.5%。第三季度的新增订单金额为29亿欧元。ASML总裁兼首席执行官Peter Wennink表示:“我们第三季度的销售额达到40亿欧元,超过我们的预期”。
10月14日,荷兰ASML(阿斯麦)公布了光刻机产品的最新进展。其中TWINSCAN NXE:3600D作为其目前研发中的最先进光刻机系统,终于敲定最终规格。具体来说,30mJ/cm2的曝光速度达到每小时曝光160片晶圆,提高了18%的生产率,并改进机器匹配套准精度至1.1nm。