MEMS加速度计

Analog Devices, Inc. (ADI)推出一款三轴MEMS加速度计，可用于广泛的医疗健康和工业应用，包括生命体征监测、听力辅助和运动计量等设备。

意法半导体 AIS2IH三轴线性加速度计为汽车防盗、远程信息处理、信息娱乐、倾斜/侧倾测量、车辆导航等非安全性汽车应用带来更高的测量分辨率、温度稳定性和机械强度，还为性能要求很高的新兴汽车、医疗和工业应用铺平了道路。

状态监控(CbM)是一种预测性维护方式，其利用各种传感器来评估设备随时间的运行状态。收集的传感器数据用于建立基线趋势，从而帮助诊断甚至预测故障。与传统的定期预防性维护模式相比，利用CbM可以在需要时进行维护，时间和成本都能得到节省。

在工业领域中，设备老化、停机等原因造成的设备停机给企业带来不小的经济损失。

怎么才能解决这个棘手的问题呢？ADI给出了答案。通过对振动信号的分析，可以在设备发生停机前监测到潜在故障点，为设备的维修保养做提前预判，极大的提高生产效率，降低运维成本。振动信号是机器诊断的关键要素之一，已被可靠地运用于监控各种工业应用中的最关键设备。

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说了那么多，让我们一起来详细了解下ADI这两款状态监测应用的高频率、低噪音MEMS加速度计吧！

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MEMS 是一项革命性的新技术，广泛应用于高新技术产业，是一项关系到国家科技发展的关键技术。

MEMS 小讲堂共分为四节，由 ADI 亚太区微机电产品市场与应用经理赵延辉给大家分享四个关于 MEMS 的技术，从理论讲解到实际应用，深入洞悉，完美解决在利用 MEMS 传感器设计过程中遇到的挑战。

今天我们分享最后一节【MEMS 应用举例 – 倾角测量】，本节介绍了利用 MEMS 加速度计做倾角测量的一些应用场景，包括工业、医疗、通信和消费类领域，以及如何利用加速度计来实现倾角测量，影响测量精度的指标有哪些，对于不同的应用场景和目标，推荐的测量器件是什么。

高性能MEMS加速度计为各种集成惯性测量的应用提供低成本解决方案。具体例子包括：导航和AHRS系统，用于机器健康状况检测的振动监控，基础设施的结构健康状况监控，以及用于平台稳定、井下定向钻探的倾斜监控、施工行业平路机和勘测设备的调平、吊车稳定系统吊杆倾角测量的高精度倾角计。在大多数此类例子中，加速度计会经受不同幅度的振动。这些应用的另一个不同方面是振动的频率成分。振动与传感器和系统误差源相结合可能导致振动校正，这是高性能加速度计的一个重要指标。本文说明MEMS加速度计中的振动校正是如何发生的，并讨论各种测量此参数的技术。作为案例研究，本文会讨论低噪声、低功耗加速度计ADXL355的振动校正。低振动校正误差以及所有其他特性，使这款器件成为上述精密应用的理想之选。

<strong>振动校正的来源</strong>

振动校正误差(VRE)是加速度计对交流振动（被整流为直流）的响应，表现为加速度计失调的异常偏移。在倾角计等应用中，这是一个重大误差源，因为加速度计的直流输出是目标信号，失调的任何改变都可能被错误地解读为倾角变化，导致误差一路向下传递，从而引起安全系统误触发、平台稳定或钻桅对准机制过度补偿等。